Cổng Van (Manual / khí nén)
Viewports (Quartz / Sapphire)
Feedthroughs
Phổi
Mặt bích / Phụ tùng
Vòng đệm (Copper, Viton)
Silicon dầu, chất bịt kín, và mỡ
Phún xạ Sources / Ion Guns
Film mỏng Màn hình Độ dày